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Elektrostatischer Chuck aus Aluminiumnitridkeramik für Halbleiter

AlN semiconductor

Elektrostatischer Chuck aus Aluminiumnitridkeramik für Halbleiter

Unser Aluminiumnitrid weist eine gute Beständigkeit gegen Oxidation, chemische Angriffe und Thermoschock auf, ist mechanisch belastbar, hat eine niedrige Dielektrizitätskonstante, einen Wärmeausdehnungskoeffizienten ähnlich dem von Siliziumkristallen und eine hohe Wärmeleitfähigkeit.

Produktdetails:

  1. Material: Aluminiumnitrid.
  2. Funktion: Isolierung und Wärmeableitung.
  3. Farbe: Grau.
  4. Typ: Keramik.
  5. Kann individuell angepasst werden: Ja, bitte stellen Sie Zeichnungen bestimmter Produkte zur Verfügung.

Elektrostatischer Chuck aus Aluminiumnitridkeramik für Halbleiter

Produktbeschreibung:

In modernen Halbleiterfertigungsprozessen werden Wafer in mehreren Schritten bearbeitet und zwischen Hunderten von Prozessanlagen hin- und hertransportiert. Daher wird eine Vorrichtung zur Waferklemmung benötigt. Elektrostatische Spannvorrichtungen halten Wafer durch elektrostatische Absorption. Die Absorptionskraft ist gleichmäßig und stabil, und die Wafer verziehen und verformen sich nicht. Dies gewährleistet die Verarbeitungsgenauigkeit und Sauberkeit der Wafer.

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Unser Service:

Unsere Aluminiumnitridsubstrate sind in verschiedenen Größen und Dicken erhältlich.

Spezifikation:

Abmessungen (L x B)φ110*110mm
Dicke5mm usw.
Wärmeleitfähigkeit170 W/mK
Dielektrizitätskonstante8-9 (MHz)
Schüttdichte3,3 g/cm³
OberflächenrauheitRa < 0,6 μm auf beiden Seiten

Unternehmensvorteile:

Huaqing wurde 2004 mit einem Investitionsvolumen von 80 Millionen RMB und einem Stammkapital von 40 Millionen RMB gegründet. Die AlN- und Al2O3-Keramikprodukte von Huaqing zeichnen sich im Vergleich zu anderen Fabriken der Branche durch eine hohe Wärmeleitfähigkeit, eine niedrige Dielektrizitätskonstante, einen guten Verlustfaktor und hervorragende mechanische Eigenschaften aus. AlN- und Al2O3-Keramik wird häufig in HBLED, Optokommunikation, IGBT, Leistungsbauelementen, TEC und anderen High-End-Anwendungen eingesetzt.

Werkstatt & Ausstattung:

Verpackung & Lieferung:
Lieferung durch UPS, DHL, Fedex usw.

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