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Aluminiumnitrid-Keramiksubstrat
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Aluminiumnitrid-Keramik für elektrostatische Spannfutter

Aluminum nitride ceramic ESC plate

Aluminiumnitrid-Keramik für elektrostatische Spannfutter

1.Material: Aluminiumnitrid.

2. Funktion: Isolierung und Wärmeableitung aus Keramik.

3. Typ: Keramik.

4. Farbe: Grau.

5. Kann individuell angepasst werden: Ja, bitte stellen Sie Zeichnungen für bestimmte Produkte zur Verfügung.

Aluminiumnitrid-Keramik für elektrostatische Spannfutter

Produktbeschreibung:

Der elektrostatische Chuck (ESC) wird in einer Vielzahl von Halbleiterprozessen verwendet, um den Wafer während der Bearbeitung zu halten. ESCs verwenden eine Platte mit integrierten Elektroden, die mit Hochspannung vorgespannt werden, um eine elektrostatische Haltekraft zwischen Platte und Wafer aufzubauen, wodurch der Wafer „eingespannt“ wird.

Unsere Aluminiumnitrid-Substrate (AlN) sind in verschiedenen Größen und Dicken erhältlich. Dank eines großen und aktiven Lagerbestands können wir Ihr Teil schnell versenden, damit Sie Ihr Projekt starten können.

Unser Service:
Bitte kontaktieren Sie uns für die Anpassung. Wir können auch Keramik aus Aluminiumnitrid (AlN) mit einer Wärmeleitfähigkeit von bis zu 230 W/mK liefern

Spezifikation:

Abmessung (LxB)φ170mm usw.
Dicke10 mm usw.
Wärmeleitfähigkeit170W/m.K
Dielektrizitätskonstante8-9 (MHz)
Schüttdichte3,3 g/cm³
OberflächenrauheitRa ≤6 μm auf beiden Seiten

Firmenvorteil:

Huaqing Gegründet im Jahr 2004 mit einer Investitionssumme von 80 Millionen RMB und einem Stammkapital von 40 Millionen RMB. Die AlN- und Al2O3-Keramikprodukte von Huaqing haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit, eine niedrige Dielektrizitätskonstante, einen guten Verlustfaktor und hervorragende mechanische Eigenschaften im Vergleich zu anderen Fabriken in der Branche. AlN- und Al2O3-Keramik werden häufig in HBLED, Optokommunikation, IGBT, Leistungsgeräten, TEC und anderen High-End-Anwendungen verwendet.

Werkstattausrüstung:

Verpackung & Lieferung:
Liefern durch UPS, DHL, Fedex etc

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