Aluminiumnitridkeramik für elektrostatische Spannvorrichtungen Hersteller

Produktdetails

Aluminiumnitridkeramik für elektrostatische Spannvorrichtungen

Produktbeschreibung:

Der elektrostatische Chuck (ESC) wird in verschiedenen Halbleiterprozessen verwendet, um den Wafer während der Verarbeitung zu halten. ESCs verwenden eine Platte mit integrierten Elektroden, die mit Hochspannung vorgespannt sind, um eine elektrostatische Haltekraft zwischen der Platte und dem Wafer aufzubauen und so den Wafer zu „spannen“. Aluminiumnitridkeramik weist eine hohe Wärmeleitfähigkeit und Isolationseigenschaften auf, die als ESC-Material verwendet werden können.

Unsere Aluminiumnitrid-Substrate (AlN) sind in verschiedenen Größen und Stärken erhältlich. Dank eines großen und aktiven Lagerbestands können wir Ihr Teil schnell versenden, damit Sie mit Ihrem Projekt beginnen können.

Unser Service:
Bitte kontaktieren Sie uns für eine individuelle Anpassung. Wir können auch Aluminiumnitrid (AlN)-Keramik mit einer Wärmeleitfähigkeit von bis zu 230 W/mK liefern

Spezifikation:

Abmessungen (LxB)	φ170mm usw.
Dicke	10 mm usw.
Wärmeleitfähigkeit	170W/m.K
Dielektrizitätskonstante	8-9 (MHz)
Schüttdichte	3,3 g/cm³
Oberflächenrauheit	Ra ≤6 μm auf beiden Seiten

Firmenvorteil:

Huaqing wurde 2004 mit einer Gesamtinvestition von 80 Millionen RMB und einem Grundkapital von 40 Millionen RMB gegründet. Die AlN- und Al2O3-Keramikprodukte von Huaqing weisen im Vergleich zu anderen Fabriken der Branche eine hohe Wärmeleitfähigkeit, eine niedrige Dielektrizitätskonstante, einen guten Verlustfaktor und hervorragende mechanische Eigenschaften auf. AlN- und Al2O3-Keramik wird häufig in HBLED, Optokommunikation, IGBT, Leistungsgeräten, TEC und anderen High-End-Anwendungen verwendet.

Werkstattausrüstung:

Verpackung & Lieferung:
Lieferung per UPS, DHL, Fedex usw

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