Aluminiumnitridkeramik für elektrostatische Spannvorrichtung Hersteller

Produktdetails

Aluminiumnitridkeramik für elektrostatische Spannvorrichtung

Produktbeschreibung:

Der elektrostatische Chuck (ESC) wird in verschiedenen Halbleiterprozessen verwendet, um den Wafer während der Verarbeitung zu halten. ESCs verwenden eine Platte mit integrierten Elektroden, die mit Hochspannung vorgespannt sind, um eine elektrostatische Haltekraft zwischen Platte und Wafer aufzubauen und den Wafer so zu „spannen“. Aluminiumnitridkeramik verfügt über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und Isolationseigenschaften, die als ESC-Material geeignet sind.

Unsere Aluminiumnitrid-Substrate (AlN) sind in verschiedenen Größen und Stärken erhältlich. Dank eines großen und aktuellen Lagerbestands können wir Ihr Teil schnell versenden, damit Sie Ihr Projekt starten können.

Unser Service:
Bitte kontaktieren Sie uns für individuelle Anpassungen. Wir können auch Aluminiumnitrid (AlN)-Keramik mit einer Wärmeleitfähigkeit von bis zu 230 W/mK liefern

Spezifikation:

Abmessungen (LxB)	φ170mm usw.
Dicke	10 mm usw.
Wärmeleitfähigkeit	170 W/mK
Dielektrizitätskonstante	8-9 (MHz)
Schüttdichte	3,3 g/cm³
Oberflächenrauheit	Ra ≤6 μm auf beiden Seiten

Unternehmensvorteil:

Huaqing wurde 2004 mit einer Gesamtinvestition von 80 Millionen RMB und einem Stammkapital von 40 Millionen RMB gegründet. Die AlN- und Al2O3-Keramikprodukte von Huaqing zeichnen sich im Vergleich zu anderen Fabriken der Branche durch eine hohe Wärmeleitfähigkeit, eine niedrige Dielektrizitätskonstante, einen guten Verlustfaktor und hervorragende mechanische Eigenschaften aus. AlN- und Al2O3-Keramik wird häufig in HBLED, Optokommunikation, IGBT, Leistungsgeräten, TEC und anderen High-End-Anwendungen eingesetzt.

Werkstatt & Ausstattung:

Verpackung & Lieferung:
Lieferung per UPS, DHL, Fedex usw.

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